產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品介紹

二、半導(dǎo)體IC／晶圓制造廠煙氣排放在線監(jiān)測技術(shù)特點

然而，IC/晶圓制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排 口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進(jìn)行在線監(jiān)測，就需要綜合考慮國際上先進(jìn)的監(jiān)測技術(shù)和建設(shè)經(jīng)濟(jì)效益，選擇最優(yōu)的解決方案。

三、BO-SYS400IC解決方案 

BO-SYS400IC是我司針對上述難點所提供的整體解決方案，滿足同時監(jiān)測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進(jìn)的光譜法（UV/IR）監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測VOCs氣體。