半導體等電子工業監測站解決方案

背景概述

半導體/電子工業是我國重點扶持和發展的領域，在生態環境保護方面，半導體/電子工業制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監控，以降低對生態環境和居民的影響。然而，半導體/電子工業制造廠的廢氣／煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進行在線監測，就需要綜合考慮國際上先進的監測技術和建設經濟效益，選擇最優的解決方案。

行業類型：半導體等電子工業

主要監測因子：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。

解決方案概述：博測環境提供的整體解決方案是采用非接觸式差分吸收光譜法（DOAS），使用一條光路貫穿整個管道。光束通過光纖傳輸到分析儀，而這個分析儀又同時監測幾個路徑。滿足同時監測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進的光譜法（UV/IR）監測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監測VOCs氣體。如下圖：

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